LithoGRPO：GRPO強化フロー整合による高速逆リソグラフィ

ニュース概要

半導体製造では、リソグラフィはシリコンウェーハ上の回路レイアウトを光学マスクを通じて投影します。回路の特徴が光の波長より小さくなると、光の回折は印刷パターンが意図されたレイアウトから逸脱する原因となります。逆リソグラフィ技術（ILT）はこの課題に対処します。